低溫等離子體（Plasma）應(yīng)用已經(jīng)是一個(gè)具有全球影響的重要的科學(xué)與工程，對(duì)高科技經(jīng)濟(jì)的發(fā)展及傳統(tǒng)工業(yè)的改造有著巨大的影響。三分之一微電子器件設(shè)備采用等離子體技術(shù)；高分子材料百分之九十都要經(jīng)過低溫等離子體的表面處理和改性?？茖W(xué)家預(yù)測(cè)：二十一世紀(jì)低溫等離子體科學(xué)與技術(shù)將會(huì)產(chǎn)生突破，低溫等離子體技術(shù)在半導(dǎo)體工業(yè)、聚合物薄膜、材料防腐蝕、等離子體電子學(xué)、等離子體合成、等離子體冶金、等離子體煤化工、等離子體三廢處理等領(lǐng)域?qū)鹘y(tǒng)工藝將有革命性的改變。
　　等離子體輔助加工被用來制造特種優(yōu)良性能的新材料、研制新的化學(xué)物質(zhì)和化學(xué)過程，加工、改造和精制材料及其表面，具有極其廣泛的工業(yè)應(yīng)用--從薄膜沉積、等離子體聚合、微電路制造到焊接、工具硬化、超微粉的合成、等離子體噴涂、等離子體冶金、等離子體化工、等離子體輔助加工目前已開辟的應(yīng)用領(lǐng)域包括：
　　●半導(dǎo)體集成電路及其它微電子設(shè)備的制造
　　●工具、模具及工程金屬的硬化
　　●藥品的生物相溶性包裝材料的制備
　　●表面防蝕及其它薄層的沉積
　　●特殊陶瓷（包括超導(dǎo)材料，粉末）
　　●新的化學(xué)物質(zhì)及材料的制造
　　●聚合物薄膜的印刷和制備
　　●有害廢物的處理
　　●磁記錄材料和光學(xué)材料
　　●精細(xì)加工
　　●照明及顯示
　　●電子電路及等離子體二極管開關(guān)
　　●等離子體化工（氫等離子體裂解煤制乙炔、等離子體煤氣化、等離子體裂解重?zé)N、等離子體制炭黑、等離子體制電石等）