機臺名稱：真空等離子處理機
機臺型號：Suncola-PM80L
整機規(guī)格：8層 920mm(W)×1030mm(D)×1720mm（H）
電極規(guī)格：8層平板式電極板（420mm×360mm）
電源系統(tǒng)：1KW等離子體發(fā)生源（40KHz，可選13.56MHz）
控制系統(tǒng)：觸摸屏+PLC自動控制
進氣系統(tǒng)：2—5路工作氣體可選：Ar2、N2、H2、CF4、O2

特 點：高精度，快響應，良好的操控性和兼容性，完善的功能和專業(yè)的技術支持
用 途：適用于攝像頭及行業(yè)，手機制造、半導體IC領域，硅膠、塑膠、聚合體領域，汽車電子行業(yè)，航空工業(yè)等等。
?1、攝像頭、指紋識別行業(yè)：軟硬結合板金PAD表面去氧化；IR表面清洗、清潔。
2、半導體IC領域：COB、COG、COF、ACF工藝，用于打線、焊接前的清洗
3、硅膠、塑膠、聚合體領域：硅膠、塑膠、聚合體的表面粗化、刻蝕、活化。